1、玻義爾定律

　　體積V，壓強P，P·V=常數(shù)

　　一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時，氣體的壓強與氣體的體積成反比。

　　即P1/P2=V2/V1

　　2、蓋·呂薩克定律

　　當(dāng)壓強P不變時，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比：

　　V1/V2=T1/T2=常數(shù)

　　當(dāng)壓強不變時，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。

　　3、查理定律

　　當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強P與其絕對溫度T成正比，即：

　　P1/P2=T1/T2

　　在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1℃，它的壓強比原來增加(或減少)1/273。

壓控電磁閥（圖）

　　4、平均自由程：

　　λ=(5×10-3)/P (cm)

　　5、抽速：

　　S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P

　　Q=流量(托·升/秒) P=壓強(托)　　V=體積(升) t=時間(秒)

　　6、通導(dǎo)： C=Q/(P2-P1) (升/秒)

　　7、真空抽氣時間：

　　對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式：

　　t=8V/S (經(jīng)驗公式)

　　V為體積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。

　　8、維持泵選擇：

　　S維=S前/10

　　9、擴散泵抽速估算：

　　S=3D2 (D=直徑cm)

　　10、羅茨泵的前級抽速：

　　S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)

　　11、漏率：

　　Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)

　　Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)

　　V-系統(tǒng)容積(l)

　　P1-真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(mmHg)

　　P2-真空室經(jīng)過時間t后達(dá)到的壓強(mmHg)

　　t-壓強從P1升到P2經(jīng)過的時間(s)

　　12、粗抽泵的抽速選擇：

　　S=Q1/P預(yù) (l/s)

　　S=2.3V·lg(Pa/P預(yù))/t

　　S-機械泵有效抽速

　　Q1-真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)

　　P預(yù)-需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)

　　V-真空系統(tǒng)容積(升)

　　t-達(dá)到P預(yù)時所需要的時間

　　Pa-大氣壓值(托)

　　13、前級泵抽速選擇：

　　排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：

　　PnSg≥PgS 或

　　Sg≥Pgs/Pn

　　Sg-前級泵的有效抽速(l/s)

　　Pn-主泵臨界前級壓強(最大排氣壓強)(l/s)

　　Pg-真空室最高工作壓強(托)

　　S-主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)

　　14、擴散泵抽速計算公式：

　　S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)

　　式中：S-被試泵的抽氣速率(l/s)

　　n-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)

　　t-油柱上升n格所需要的時間(秒)

　　P-在泵口附近測得的壓強(托)

　　K-滴管系數(shù)(托·升/秒)

　　K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt

　　其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升)

　　L-滴管刻度部分的長度(mm)

　　n-滴管刻度部分的格數(shù)(格)

　　Υ0-油的比重(克/厘米3)

　　Υm-汞的比重(克/厘米3)

　　Pa-當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?托)

　　△Vt-滴管的刻度上的一格的對應(yīng)的容積(升/格)

　　15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：

　　S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)

　　式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95%)。

　　16、O型橡膠槽深B=0.7D

　　D為橡膠直徑，槽寬C=1.6B

　　17、方形橡膠槽深B=0.8A

　　A為方形橡膠邊長，槽寬C=1.67B